描述
緊湊簡約設計 , 馬達不外露 , 便於機構空間配置內置長行程式壓電馬達與光學尺
搭配控制器做速度調整與閉迴路位置控制
標準品最高行程達 70 mm
閉迴路位置控制最高至 50 nm
開迴路控制最小進給量達 0.5 nm
充分發揮壓電馬達特性
具零背隙效果 , 高響應加減速 , 斷電煞車作用
另可選配製作更高解析度 , 更高行程與真空環境版本
| 奈米定位壓電滑台系列 | 光學尺 | 荷重 N (水平放置) | 推力 N | 剎車力 N | 解析度 nm | 行程 mm |
| MNLS Series Piezo Stage | Encoder | loading Force | continuous Force | Holding Force | Resolution | Travel |
| MNLS0620PM-R080 | 內置超微型光學尺 | 200 | 3 | 6 | 80 | 20 |
| MNLS0670PM-R080 | 內置超微型光學尺 | 200 | 3 | 6 | 80 | 70 |
| MNLS0625PMM-R050 | 內置超微型光學尺 | 200 | 3 | 6 | 50 | 20 |
| MNLS0640PMM-R050 | 內置超微型光學尺 | 200 | 3 | 6 | 50 | 40 |
| MNLS0670PMM-R050 | 內置超微型光學尺 | 200 | 3 | 6 | 50 | 70 |
| MNLS2020PMM-R050 | 內置超微型光學尺 | 200 | 10 | 20 | 50 | 20 |
| MNLS2040PMM-R050 | 內置超微型光學尺 | 200 | 10 | 20 | 50 | 40 |
| MNLS2070PMM-R050 | 內置超微型光學尺 | 200 | 10 | 20 | 50 | 70 |